废气净化设备利用高频高压静电的特殊脉冲放电方式（发射装置每秒钟发射上千亿个高能离子），产生高密度的高能活性氧（介于氧分子和臭氧之间的一种过渡态氧），迅速与污染物分子碰撞，激或有机分子，并直接将其破坏；或者高能活性氧激或空气中的氧分子产生二次活性氧，与有机分子发生一系列链式反应，并利用自身反应产生的能量维系氧化反应，进一步氧化有机物质，生成二氧化碳和水以及其它小分子，而且可以在极短的时间内达到很高的处理效率。

由于上述过程是在常温下进行的，因此也称为“低温燃烧”过程，这是一个ji端复杂的物理过程，产生O₂、O₂-、O₂+、·OH、·H0₂、·O、O等氧簇聚集体，由于具有极强的氧化能力，因此我们称其为“活性氧”。

根据实验结果，并结合国外采用氧化法处理恶臭的资料，基本确定AOE设备处理各种恶臭组分的机理和主要产物。恶臭污染物中主要含有的气相污染物有H₂S、NH₃、CH₃SH、VOCs（挥发性有机化合物）等。活性氧去除上述污染物的主要途径有两条：一是在高能电子的瞬时高能量作用下，打开某些有害气体分子的化学键，使其直接分解成单质原子或无害分子；二是在大量高能电子、离子、激发态粒子和氧自由基、氢氧自由基（自由基因带有不成对电子而具有很强的活性）等作用下的氧化分解成无害产物。

其反应机理为：

H₂S + O₂、O₂-、O₂+  → SO₃ + H₂O

NH₃ + O₂、O₂-、O₂+  → NOx + H₂O

VOCs + O₂、O₂-、O₂+ → SO₃ +CO₂+ H₂O